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mems设计中的尺度效应
本章介绍尺度的目的在于提供一些可供选择的尺度 规律,使设计者意识到缩小机器和器件尺度所带 来的物理后果;并使其明白,一些微型化在物理 上是行不通的,或者在经济上是没有意义的。