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第4章mems设计中的尺度效应.ppt
因此,可得出流体在介观和微观 范围对流热传递的尺度为q∝ (l2)。 其更普通的形式为 在亚微米范围内热对流的尺度 当气体通过亚微米尺度的狭窄管道时,由于边界层效应变